真空機器分野

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真空装置関連のメンテナンス・修理をはじめ、
アレンジ・取り付け・加工などについてもフルサポートいたします。

当社では、超高真空装置をはじめ様々な真空装置のメンテナンスをご提供しております。MBEやCVD等の半導体分野、XPS、RHEED等の表面分析装置など、クライアントの多様なご要望にしっかり対応。チャンバー本体に加え、各種試料蒸発源(K-Cellなど)や導入端子、各種真空ポンプなどの周辺機器のアレンジ・取り付け・修理・加工についてもフルサポートいたします。
また、当社の持つレーザー技術を利用し、PLD等の成膜装置等にも対応が可能です。

<主なサービス対象商品>

  • 半導体製造装置
    (FET・HEMTをはじめとするマイクロ波、発光ダイオード等オプトエレクトロニクス。先端テクノロジーを支える製造装置、磁気センサーをはじめ各種高感度センサーの半導体市場におけるデバイス生産や次世代デバイスの開発)
  • 各種薄膜成長装置
  • 宇宙環境試験装置
    (宇宙環境を再現した大型真空装置のサポート、改善のためのコンサルティング及び改造)
  • 真空関連コンポーネント

■サービスのご紹介

<主要なサービス>

  • 販売支援
    販売代理店様等の営業活動を技術面でバックアップし、装置の拡販へ貢献。
  • 既存装置の改造・アップグレード
    お客様がお困りの点を解決するための装置の問題点の抽出及び、最適な改造案の提案。機能追加等のご要望に対応する、最適なアップグレードの提案。
  • フィールドサービス
    現地での、迅速な故障状況の診断、必要に応じた部品の手配、修理及び調整。
  • 定期メンテナンスサービス
    お客様のご要望と、装置の運用状況、安全対策等を踏まえた、最適なメンテナンスの提案。
  • 真空チェンバークリーニング
    化合物半導体等の研究及び製造において、安定なプロセスを続けるために必要な、チェンバークリーニングの提案。(装置設置場所で実施いたします。)
    研究テーマの変更及び、製造するデバイスの変更に伴う材料系の変更の際、必要な、真空チェンバーのフルクリーニング。(通常、チェンバー引き取りとなります。)
  • 装置廃棄時の無害化処理
  • 装置移設サービス

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